Lms部分
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光源、检出系统 |
光源：405 nm半导体激光、检出系统：光电倍增管 |
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108～17,280X |
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光学变焦：1～8X |
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测量 |
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重复性 |
100x : 3σn-1=0.02μm、
50x：3σn-1=0.04μm、
20x：3σn-1=0.1μm |
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正确性 |
测量值的±2%以内 |
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物镜转换器上下驱动方式 |
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行程 |
10mm |
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内置比例尺 |
0.8nm |
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10nm |
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显示分辨率 |
1nm |
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重复性 |
100x :σn-1= 0.012μm、
50x：σn-1＝0.012μm、
20x：σn-1＝0.04μm |
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0.2+L/100 μm以下（L＝测量长度） |
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彩色观察部分 |
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光源：白色LED、检出系统：1/1.8英寸200万像素单片CCD |
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码变焦：1～8X |
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物镜转换器 |
6孔电动物镜转换器 |
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微分干涉单元 |
微分干涉滑片：U-DICR、内置偏振光片单元 |
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明视场平面半消色差透镜5X LEXT专用平面复消色差透镜20X、50X、100X |
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76 mm |
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100 x 100 mm（电动载物台） |
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SPM部分 |
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接触模式、动态模式、相位模式、电流模式*、表面电位模式（KFM）*、磁力模式（MFM） |
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光杠杆法 |
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光源 |
659 nm半导体激光 |
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检出设备 |
光电检测器 |
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最大扫描范围 |
X-Y：最大 30 μm x 30 μm、Z：最大 4.6 μm |
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安装微悬臂 |
在盒式微悬臂支架上一键安装。使用微悬臂安装位置调整专用工装夹具预对位，更换支架时无需光学调整。 |
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系统 |
总重量 |
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100－120 V/220－240 V、600 VA、50/60 Hz |
