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ols4500金相显微镜

ols4500金相显微镜

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OLS4500实现纳米级观测的新型显微镜。不会丢失锁定的目标,缩短从放置样品到获取影像的工作时间。OLS4500实现了无缝观察和测量 。迅速发现观察对象,在SPM上正确完成观察。装配了激光扫描显微镜,灵活应对多种样品 。高度分辨率10 nm,轻松测量微小轮廓 。可用于传统的线粗糙度测量,也可用于信息量较多的面粗糙度测量 。

Lms部分
 
光源、检出系统 光源:405 nm半导体激光、检出系统:光电倍增管
  总倍率
108~17,280X
  变焦
光学变焦:1~8X
测量
  平面测量
重复性 100x : 3σn-1=0.02μm、
50x:3σn-1=0.04μm、
20x:3σn-1=0.1μm
正确性 测量值的±2%以内
  高度测量
  方式
物镜转换器上下驱动方式
行程 10mm
内置比例尺 0.8nm
  移动分辨率
10nm
显示分辨率 1nm
重复性 100x :σn-1= 0.012μm、
50x:σn-1=0.012μm、
20x:σn-1=0.04μm
  正确性
0.2+L/100 μm以下(L=测量长度)
彩色观察部分
  光源、检出系统
光源:白色LED、检出系统:1/1.8英寸200万像素单片CCD
  变焦
码变焦:1~8X
物镜转换器 6孔电动物镜转换器
微分干涉单元 微分干涉滑片:U-DICR、内置偏振光片单元
  物镜
明视场平面半消色差透镜5X LEXT专用平面复消色差透镜20X、50X、100X
  Z对焦部分行程
76 mm
  XY载物台
100 x 100 mm(电动载物台)
SPM部分
  运行模式
接触模式、动态模式、相位模式、电流模式*、表面电位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)
  位移检出系统
光杠杆法
光源 659 nm半导体激光
检出设备 光电检测器
最大扫描范围 X-Y:最大 30 μm x 30 μm、Z:最大 4.6 μm
安装微悬臂 在盒式微悬臂支架上一键安装。使用微悬臂安装位置调整专用工装夹具预对位,更换支架时无需光学调整。
系统 总重量
  约440 kg(不包含电脑桌)
  I额定输入
100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz

 
 
 


 
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