测量显微镜是同时具有高精度线性测量和观察功能仪器。这使得测量显微 镜可对诸多如半导体、显示器、微电子器件、精密汽车零件、注塑件、以及医 疗器具等产品进行详细检测。测量显微镜还可轻易测量不能进行接触测量的易 碎工件和需要用接触探针测量的具有极小细节的工件。
测量显微镜所必备的重要要素是光学性能、总体精密、操作性的平衡。以 前不可见或几乎不可见的物体现在不仅可以观察而且能被测量，用户对测量显 微镜的期待持续增长，而这些增长是与操作简单、高测量能力以及与此环境的 适应性相关联的。
设计理念：
由于微观结构检测趋于细微化，不仅要满足观察和测量这一生产和质量管理要求，而且测量显微镜同时对其精度要求也越来越高。
FA辅助对焦模块：
最新研发的FA具有辅助对焦功能。
独立裂像光源控制器，可根据样品不同背景进行光源亮度调节，清晰准确显示最佳焦面。有两种裂像图案可供选择，并随意切换。
平台尺寸大小：
|
规格 |
金属台面尺寸 |
玻璃台面尺寸 |
行程 |
最小分辨率（可选）mm |
|
MTS-400AH |
600*450 |
450*300 |
400*300 |
0.001/0.0005/0.0001 |
|
MTS-300AH |
500*350 |
350*250 |
300*200 |
0.001/0.0005/0.0001 |
|
MTS-200AH |
400*280 |
245*192 |
200*150 |
0.001/0.0005/0.0001 |
|
测量精度 |
所有型号的载物台均达到（3 + L/50） um的卓越精度，更高要求可选购高精度型 载物台，测量精度达（1.5+L/100）um （L为被测长度，单位：mm）
※使用高精度载物台时，推荐使用1屛咅以上物镜，温度及环境必须达到指定标准 |
