规格 | 金属台面尺寸 | 玻璃台面尺寸 | 行程 | 最小分辨率(可选)mm |
MT-400AH | 600*450 | 450*300 | 400*300 | 0.001/0.0005/0.0001 |
MT-300AH | 500*350 | 350*250 | 300*200 | 0.001/0.0005/0.0001 |
MT-200AH | 400*280 | 245*192 | 200*150 | 0.001/0.0005/0.0001 |
测量精度 |
所有型号的载物台均达到(3+L/50)um的卓越精度,更高要求可选购高精度型 载物台,测量精度达(1.5+L/100)um(L为被测长度,单位:mm) *使用高精度载物台时,推荐使用10倍以上物镜,温度及环境必须达到指定标准 |